单轴微致动器

双轴微致动器（微型XY工作台）

　　THK在“SEMICON JAPAN 2008”（12月3日～5日，幕张Messe会展中心）上展出了号称“全球最小”的微致动器。同时展出了单轴和双轴致动器。均结合使用了该公司自主研发的微型直动装置技术和微型线性马达技术。

　　单轴微致动器展出了3款。其中最小的微致动器的杆外径仅有6mm。冲程为20mm时，致动器的全长为85mm。可用于工厂内取放工件等。通过致动器微型化，可以在有限的空间内完成多种作业。据该公司称，已有客户前来订购。

　　双轴微致动器采取了XY工作台结构。也展出了3款机型，其中最小的微致动器的工作台宽仅为40mm。高度为20mm，最大冲程为15mm。可以说是“全球最小的XY工作台”（该公司技术开发总部、技术开发第二部部长浅生利之）。之所以出展SEMICON JAPAN，向众多与会者展示，是为了进一步开拓微致动器的用途。